| بررسی تأثیر پارامتر ضخامت براده تغییر شکل نیافته در ماشینکاری فوقدقیق سیلیکون |
| کد مقاله : 1046-ICME (R1) |
| نویسندگان |
|
محمد داوری دولت آبادی1، مهدی حیدری *2 1دانشکده مهندسی مکانیک دانشگاه صنعتی شاهرود 2دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه صنعتی شاهرود |
| چکیده مقاله |
| سیلیکون تکبلور به عنوان یکی از پرکاربردترین مواد در صنایع پیشرفته، بهویژه در حوزههای اپتیک، نیمهرسانا و میکروالکترونیک، جایگاه ویژهای دارد. از سوی دیگر ماشینکاری فوقدقیق سیلیکون تکبلور با ابزار الماس تکنقطهای ، روشی کلیدی در تولید قطعات اپتیکی و نیمهرسانا محسوب میشود. در این پژوهش، تأثیر ضخامت براده تغییر شکل نیافته (hmax) بر کیفیت سطح و تغییرات زیرسطحی بررسی شده است. نتایج نشان داد که افزایش hmax موجب تغییر در زبری سطح و تشکیل لایه آمورف سطحی میشود. تحلیل آزمون پرتو پراش ایکس کاهش شدت پیکهای بلوری و تشکیل لایه آمورف سطحی را تأیید کرد. همچنین بررسی جهتهای کریستالی نشان داد که آسیبهای سطحی عمدتاً در راستای <110> رخ میدهند. نمودار زمان ماشینکاری نشان داد که در ضخامتهای مختلف براده تغییرنیافته، زمان رسیدن به حد آستانه زبری سطح و همچنین تعداد قطعات تولید شده متفاوت است. تستها بر اساس hmaxمرتب شده و محدوده بهینه حدود100 nm تعیین گردید. این نتایج میتواند مبنای بهینهسازی فرآیند ماشینکاری فوقدقیق سیلیکون تک کریستال قرار گیرد. |
| کلیدواژه ها |
| ماشینکاری فوقدقیق، سیلیکون تکبلور، ضخامت براده تغییر شکل نیافته، یکپارچگی سطح، جهت کریستالی |
| وضعیت: پذیرفته شده برای ارائه شفاهی |
